1、潔凈室的發(fā)塵源
對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內(nèi)的發(fā)塵源主要來自于潔凈室內(nèi)操作人員，潔凈室的圍護和潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。
①潔凈室內(nèi)作業(yè)人員的產(chǎn)塵。作業(yè)人員的產(chǎn)塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業(yè)人員本身的動作有關(guān)。因此，潔凈室內(nèi)的作業(yè)人員必須穿規(guī)定的工作服而且動作也要受到一定的限制。通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產(chǎn)塵量為3.5-5.0×105個/人·分，是潔凈室內(nèi)的zui主要的發(fā)塵源。
②潔凈室圍護和室內(nèi)表面的產(chǎn)塵。隨著潔凈室裝修材料的發(fā)展，耐磨、抗靜電、少產(chǎn)塵的材料出現(xiàn)，潔凈室內(nèi)建筑產(chǎn)塵量越來越小。一般認(rèn)為潔凈室單位建筑面積產(chǎn)塵為3-5.0×104/m2·分，可見10平方米建筑產(chǎn)塵只相當(dāng)一個作業(yè)人員的產(chǎn)塵量。
③生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵：這一產(chǎn)塵量與設(shè)備和生產(chǎn)過程本身有直接關(guān)系。不同設(shè)備、不同生產(chǎn)工藝的產(chǎn)塵量差別極大。
2、潔凈室的清掃
①人工擦拭法：即人用潔凈室擦布和純水對潔凈室的地、墻、頂以及家具和設(shè)備表面進行擦拭。這種清掃方法較為*。
②分散式真空吸塵法：一般此方法只適用于低級別（1000級、10000級、100,000級）亂流潔凈室。方法簡單、靈活、方便，每天下班后均可采用此方法清掃。但由于移動式真空吸塵器內(nèi)的圓筒形過濾器的效率比較低，因此不適用在別的潔凈室。一般情況500m2潔凈室可設(shè)兩臺吸塵器，每增加500m2增加一臺，zui多不超過10臺。
③集中式真空吸塵法：集中式真空吸塵是一個由吸塵口、管網(wǎng)、集中吸塵泵、除塵器組成的系統(tǒng)。吸塵泵和除塵器設(shè)在專門的機房內(nèi)，因噪聲極大，機房不但要遠(yuǎn)離廠房和辦公區(qū)，而且還要適當(dāng)?shù)刈鞲袈曄曁幚?。吸塵泵應(yīng)有備用不應(yīng)少于2臺。系統(tǒng)的管道宜用無縫鋼管焊接聯(lián)接暗裝敷設(shè)。其彎頭曲率半徑為4-6d煨彎不得折皺，三通夾角要小于45C，不應(yīng)有四通（可由2個三通組合），水平管道的坡度為3‰，坡向立管和吸塵點，拐彎處宜設(shè)清掃口。系統(tǒng)末端為吸塵口，平時有蓋密封，使用時開蓋插入吸塵軟管進行吸塵。一般吸塵軟管作用半徑為8米，每個系統(tǒng)同時工作的吸塵口為4-5個，每個吸塵口的風(fēng)量為150m3/時。集中式真空吸塵不會影響室內(nèi)的潔凈度，因此，集中式真空吸塵方法多用在級別較高（100級、10級、1級），面積較大的潔凈室中。